该立式化学气相沉积炉可用于以硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。

技术特征采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；采用最新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。

主要配置炉门：丝杠升降/液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧      炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC   加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产 真空泵和真空计：进口/国产PLC：欧姆龙/西门子              控温仪表：日本岛电/英国欧陆 热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/B分度号  记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机                                 电器元件：正泰/施耐德/西门子