产品描述：

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）用于硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。

应用范围：

炭炭复合材料SiC涂层、石墨制品SiC涂层、纤维SiC、BN、ZrC涂层等

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）技术特征

采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；

采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；

采用最新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）配置选择

炉门：丝杆升降/液压升降/手动升降；旋转移开/平行移开（大尺寸炉门）；手动锁紧/自动缩圈锁紧

炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC

加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

工艺气路系统：体积/质量流量计/手动阀/自动阀/进口/国产

热电偶：K分度号/N分度号/C分度号/S分度号